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GB/T20175-2006 GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法

标准编号:GB/T 20175-2006 时间:2006-03-27 大小:KB 浏览次数:42 下载次数:6
资料名称: GB/T20175-2006 GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
标准类别: 国家标准
语  言: 简体中文
文件类型: .rar
整理时间: 2006-03-27
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标准状态: (仅供参考)
作废日期: (仅供参考)
实施日期: 2006-11-01(仅供参考)
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标准简介: GB/T 20175-2006 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法 国家标准(GB) GB/T20175-2006 本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质,提供优化溅射深度剖析参数的指南。

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标准编号: GB/T 20175-2006 正在载入地址
标准名称: 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
英文名称: Surface chemical analysis-Sputter depth profiling-Optimization using layered systems as reference materials(仅供参考)
替代情况: (仅供参考)
采标情况: IDT ISO 14606:2000(仅供参考)
发布部门: 国家标准化管理委员会(仅供参考)
页  数: 平装16开  页数:19, 字数:30千字(仅供参考)
首发日期: 2006-03-27(仅供参考)
复审日期: (仅供参考)
提出单位: (仅供参考)
归口单位: 全国微束分析标准化技术委员会(仅供参考)
主管部门: 国家标准化管理委员会(仅供参考)
起草单位: 清华大学电子工程系(仅供参考)
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