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GB/T 38867-2020电子工业用四氯化硅
简介 GB/T 38867-2020 电子工业用四氯化硅.pdf是2020-07-21发布的,实施时间是:2021-02-01,文件大小:969.81 KB。
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标准类型:.pdf
标准编号:GB/T 38867-2020
标准页数:14
最后更新:2026-07-06 09:37:36
替代标准:
中国标准分类号:G86
国际标准分类号: 71.100.20
发布日期:2020-07-21
实施日期:2021-02-01
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
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