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GB/T 37466-2019氮化镓激光剥离设备

简介 GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备.pdf是2019-06-04发布的,实施时间是:2019-10-01,文件大小:1.19 MB。

GB/T 37466-2019氮化镓激光剥离设备

标准大小:1.19 MB

标准类型:.pdf

标准编号:GB/T 37466-2019

标准页数:17

最后更新:2026-07-06 20:07:26

替代标准

中国标准分类号:L95

国际标准分类号: 31-550

发布日期:2019-06-04

实施日期:2019-10-01

技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门

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