您现在的位置是：首页 > 国家标准 > GB/T 40577-2021下载

GB/T 40577-2021集成电路制造设备术语

简介 GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语.pdf是2021-10-11发布的，实施时间是：2022-05-01,文件大小:3.30 MB。

标准大小：3.30 MB

标准类型：.pdf

标准编号：GB/T 40577-2021

标准页数：56

最后更新：2026-07-08 09:09:16

替代标准：

中国标准分类号：L95

国际标准分类号： 31.220

发布日期：2021-10-11

实施日期：2022-05-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：

本地下载高速下载

起草单位

起草人

下载地址

GB/T 40577-2021集成电路制造设备术语:: 立即下载

猜你想找

相关标准

猜你喜欢