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GB/T 40566-2021流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
简介 GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法.pdf是2021-10-11发布的，实施时间是：2022-05-01,文件大小:570.65 KB。
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标准类型：.pdf
标准编号：GB/T 40566-2021
标准页数：9
最后更新：2026-07-08 16:32:03
替代标准：
中国标准分类号：H82
国际标准分类号： 29.045
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
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