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GB/T 39145-2020硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
简介 GB/T 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf是2020-10-11发布的，实施时间是：2021-09-01,文件大小:662.71 KB。
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标准类型：.pdf
标准编号：GB/T 39145-2020
标准页数：8
最后更新：2026-07-10 22:37:28
替代标准：
中国标准分类号：H17
国际标准分类号： 77.040
发布日期：2020-10-11
实施日期：2021-09-01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
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