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GB/T 37959-2019含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

简介 GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型.pdf是2019-08-30发布的，实施时间是：2020-03-01,文件大小:2.80 MB。

标准大小：2.80 MB

标准类型：.pdf

标准编号：GB/T 37959-2019

标准页数：18

最后更新：2026-06-29 06:18:48

替代标准：

中国标准分类号：J07

国际标准分类号： 35.240.50

发布日期：2019-08-30

实施日期：2020-03-01

技术归口：全国自动化系统与集成标准化技术委员会

批准发布部门：

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