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GB/T 32280-2022硅片翘曲度和弯曲度的测试自动非接触扫描法

简介 GB/T 32280-2022 硅片翘曲度和弯曲度的测试自动非接触扫描法.pdf是2022-03-09发布的，实施时间是：2022-10-01,文件大小:1.04 MB。

标准大小：1.04 MB

标准类型：.pdf

标准编号：GB/T 32280-2022

标准页数：14

最后更新：2026-07-01 04:32:25

替代标准：GB/T 32280-2015

中国标准分类号：H21

国际标准分类号： 77.040

发布日期：2022-03-09

实施日期：2022-10-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：

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