您的位置:我要找标准 > 首页 > H 冶金 > 10/19 金属化学分析方法 资料内容

GB/T19921-2005 GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法

标准编号:GB/T 19921-2005 时间:2005-09-19 大小:KB 浏览次数:124 下载次数:17
资料名称: GB/T19921-2005 GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法
标准类别: 国家标准
语  言: 简体中文
文件类型: .rar
整理时间: 2005-09-19
授权方式: 免费下载
下载方式: FTP下载
等  级:
标准状态: (仅供参考)
作废日期: (仅供参考)
实施日期: 2006-04-01(仅供参考)
浏览次数: 124次
标准简介: GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法 国家标准(GB) GB/T19921-2005 本标准规定了应用扫描表面检查系统(SSIS)对硅抛光片表面颗粒进行测试、计数和报告的程序。本标准适用于硅抛光片,也可适用于硅外延片或其他镜面抛光片(如化合物抛光片)。本标准也适用于观测硅抛光片表面的划痕、桔皮、凹坑、波纹等缺陷,但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能,并与检测时的初始设置有关。

标准压缩包解压密码:www.51zbz.com
标准编号: GB/T 19921-2005 正在载入地址
标准名称: 硅抛光片表面颗粒测试方法
英文名称: Test method of particles on silicon wafer surfaces(仅供参考)
替代情况: (仅供参考)
采标情况: SEMI M25-1995 NEQ SEMI M35-0299 NEQ SEMI M50-1101 NEQ ASTM F1620-1996 NEQ ASTM F1621-1996 NEQ(仅供参考)
发布部门: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会(仅供参考)
页  数: 16开, 页数:10, 字数:16千字(仅供参考)
首发日期: 2005-09-19(仅供参考)
复审日期: (仅供参考)
提出单位: 中国有色金属工业协会(仅供参考)
归口单位: 全国有色金属标准化技术委员会(仅供参考)
主管部门: 中国有色金属工业协会(仅供参考)
起草单位: 北京有色金属研究总院(仅供参考)
相关标准: 无相关信息
下载次数: 17次
下载地址: 点此打开推荐最佳下载地址

资料格式:本站提供的标准全部压缩成RAR文件,请使用WinRAR软件解压缩,解压密码为本站域名:www.51zbz.com。多数标准资料为PDF文件格式,请下载PDF阅读器进行阅读。

郑重声明:本站收集整理的标准资料均来源于网络,未做任何删减。该资料仅供学习交流,请勿他用。本站不保证标准的完整性,不承担任何技术及版权问题。正规场合使用标准,请通过专门途径购买。未经本站授权,任何网站不得非法盗链及抄袭本站标准资源!

友情提示:为防止未经授权的盗链及采集,下载地址延迟显示,敬请理解。如果发现标准资料不能下载,请联系:admin@51zbz.com,谢谢!