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GB/T14146-1993 GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容--电压法

标准编号:GB/T 14146-1993 时间:1993-02-06 大小:KB 浏览次数:66 下载次数:13
资料名称: GB/T14146-1993 GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容--电压法
标准类别: 国家标准
语  言: 简体中文
文件类型: .rar
整理时间: 1993-02-06
授权方式: 免费下载
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等  级:
标准状态: (仅供参考)
作废日期: (仅供参考)
实施日期: 1993-10-01(仅供参考)
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标准简介: GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容--电压法 国家标准(GB) GB/T14146-1993 本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容—电压测量方法。本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。

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标准编号: GB/T 14146-1993 正在载入地址
标准名称: 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容--电压法
英文名称: Silicon epitaxial layers-Determination of carrier concentration-Mercury probe valtage-capacitance method(仅供参考)
替代情况: (仅供参考)
采标情况: DIN 50439-1982,REF(仅供参考)
发布部门: 国家技术监督局(仅供参考)
页  数: 平装16开, 页数:6, 字数:8千字(仅供参考)
首发日期: 1993-02-06(仅供参考)
复审日期: 2004-10-14(仅供参考)
提出单位: (仅供参考)
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(仅供参考)
主管部门: 国家标准化管理委员会(仅供参考)
起草单位: 上海市有色金属总公司(仅供参考)
相关标准: 无相关信息
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