GB/T14140.1-1993 GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法
标准编号:GB/T 14140.1-1993 时间:1993-02-06 大小:KB 浏览次数:106 下载次数:15资料名称: | GB/T14140.1-1993 GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法 |
标准类别: | 国家标准 | ||
语 言: | 简体中文 | ||
文件类型: | .rar | ||
整理时间: | 1993-02-06 | ||
授权方式: | 免费下载 | ||
下载方式: | FTP下载 | ||
等 级: | |||
标准状态: | (仅供参考) | ||
作废日期: | (仅供参考) | ||
实施日期: | 1993-10-01(仅供参考) | ||
浏览次数: | 106次 |
标准简介: | GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法 光学投影法 国家标准(GB) GB/T14140.1-1993 本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为声φ40~φ100mm本标准不适用于测量硅片的不圆度。本标准用作仲裁测量方法。 标准压缩包解压密码:www.51zbz.com |
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标准编号: | GB/T 14140.1-1993 正在载入地址 | |
标准名称: | 硅片直径测量方法 光学投影法 | |
英文名称: | Silicon slices and wafers-Measuring of diameter-Optical projecting method(仅供参考) | |
替代情况: | (仅供参考) | |
采标情况: | ASTM F613-1982,EQV(仅供参考) | |
发布部门: | 国家技术监督局(仅供参考) | |
页 数: | 4页(仅供参考) | |
首发日期: | 1993-02-06(仅供参考) | |
复审日期: | 2004-10-14(仅供参考) | |
提出单位: | (仅供参考) | |
归口单位: | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(仅供参考) | |
主管部门: | 国家标准化管理委员会(仅供参考) | |
起草单位: | 洛阳单晶硅厂(仅供参考) | |
相关标准: | ||
下载次数: | 15次 | |
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