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GB/T 38447-2020微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

简介 GB/T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法.pdf是2020-03-06发布的,实施时间是:2020-07-01,文件大小:1.57 MB。

GB/T 38447-2020微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

标准大小:1.57 MB

标准类型:.pdf

标准编号:GB/T 38447-2020

标准页数:18

最后更新:2026-07-02 19:05:06

替代标准

中国标准分类号:L55

国际标准分类号: 31.200

发布日期:2020-03-06

实施日期:2020-07-01

技术归口:全国微机电技术标准化技术委员会

批准发布部门

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