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GB/T 41153-2021碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法

简介 GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法.pdf是2021-12-31发布的,实施时间是:2022-07-01,文件大小:551.23 KB。

GB/T 41153-2021碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定  二次离子质谱法

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标准类型:.pdf

标准编号:GB/T 41153-2021

标准页数:6

最后更新:2026-07-03 02:50:31

替代标准

中国标准分类号:H17

国际标准分类号: 77.040

发布日期:2021-12-31

实施日期:2022-07-01

技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

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