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GB/T 41153-2021碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
简介 GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法.pdf是2021-12-31发布的,实施时间是:2022-07-01,文件大小:551.23 KB。
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标准类型:.pdf
标准编号:GB/T 41153-2021
标准页数:6
最后更新:2026-07-03 02:50:31
替代标准:
中国标准分类号:H17
国际标准分类号: 77.040
发布日期:2021-12-31
实施日期:2022-07-01
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
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