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GB/T 38866-2020电子工业用二氯硅烷

简介 GB/T 38866-2020 电子工业用二氯硅烷.pdf是2020-07-21发布的，实施时间是：2021-02-01,文件大小:927.18 KB。

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标准类型：.pdf

标准编号：GB/T 38866-2020

标准页数：13

最后更新：2026-07-03 05:49:41

替代标准：

中国标准分类号：G86

国际标准分类号： 71.100.20

发布日期：2020-07-21

实施日期：2021-02-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：

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起草人

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