您的位置:我要找标准 > 首页 > L 电子元器件与信息技术 > 55/59 微电路 资料内容

GB/T17866-1999 GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则

标准编号:GB/T 17866-1999 时间:1999-09-01 大小:KB 浏览次数:34 下载次数:3
资料名称: GB/T17866-1999 GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
标准类别: 国家标准
语  言: 简体中文
文件类型: .rar
整理时间: 1999-09-01
授权方式: 免费下载
下载方式: FTP下载
等  级:
标准状态: (仅供参考)
作废日期: (仅供参考)
实施日期: 2000-06-01(仅供参考)
浏览次数: 34次
标准简介: GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则 国家标准(GB) GB/T17866-1999 本标准的目的是制定一套可用于评估掩模缺陷检查系统灵敏度的测试掩模。这套测试掩模包括:含特制图形缺陷的测试芯片,以及不含特制图形缺陷的参考测试芯片。由于测试芯片是由各种单集合而成,所以在本标准中,测试芯片是用单图形、单图形中的特制缺陷、以及单的布局来定义的。此外,测试掩模是通过规定测试芯片的排列来定义的。本标准还讲述这套掩模的用法。

标准压缩包解压密码:www.51zbz.com
标准编号: GB/T 17866-1999 正在载入地址
标准名称: 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
英文名称: Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysis of mask defect inspection  systems(仅供参考)
替代情况: (仅供参考)
采标情况: idt SEMI P23:1993(仅供参考)
发布部门: 国家质量技术监督局(仅供参考)
页  数: 平装16开, 页数:13, 字数:21千字(仅供参考)
首发日期: 1999-09-13(仅供参考)
复审日期: 2004-10-14(仅供参考)
提出单位: (仅供参考)
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(仅供参考)
主管部门: 国家标准化管理委员会(仅供参考)
起草单位: 中国科学院微电子中心(仅供参考)
相关标准: 无相关信息
下载次数: 3次
下载地址: 点此打开推荐最佳下载地址

资料格式:本站提供的标准全部压缩成RAR文件,请使用WinRAR软件解压缩,解压密码为本站域名:www.51zbz.com。多数标准资料为PDF文件格式,请下载PDF阅读器进行阅读。

郑重声明:本站收集整理的标准资料均来源于网络,未做任何删减。该资料仅供学习交流,请勿他用。本站不保证标准的完整性,不承担任何技术及版权问题。正规场合使用标准,请通过专门途径购买。未经本站授权,任何网站不得非法盗链及抄袭本站标准资源!

友情提示:为防止未经授权的盗链及采集,下载地址延迟显示,敬请理解。如果发现标准资料不能下载,请联系:admin@51zbz.com,谢谢!