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GB/T 43976-2024电子气体 四氟甲烷

简介 GB/T 43976-2024 电子气体 四氟甲烷.pdf是2024-04-25发布的,实施时间是:2024-11-01,文件大小:504.36 KB。

GB/T 43976-2024电子气体 四氟甲烷

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标准类型:.pdf

标准编号:GB/T 43976-2024

标准页数:15

最后更新:2026-07-07 02:24:56

替代标准

中国标准分类号:G86

国际标准分类号: 71.100.20

发布日期:2024-04-25

实施日期:2024-11-01

技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门

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