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GB/T 21287-2021电子特气三氟化氮

简介 GB/T 21287-2021 电子特气三氟化氮.pdf是2021-10-11发布的，实施时间是：2022-05-01,文件大小:827.43 KB。

标准大小：827.43 KB

标准类型：.pdf

标准编号：GB/T 21287-2021

标准页数：12

最后更新：2026-07-03 13:14:25

替代标准：GB/T 21287-2007

中国标准分类号：G86

国际标准分类号： 71.100.20

发布日期：2021-10-11

实施日期：2022-05-01

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：

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